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压力传感器过载后果和保护方法

发布时间:9/12/2020

压力传感器具有许多参数指标,其中一项是过载保护,过载负荷过大,超过设备本身的额定载荷,电流太大的现象,电力设备加热,长期线路过载会降低线路绝缘水平,甚至烧坏传感器设备或线路;
  压力传感器有多种形式,每种结构形式的过载保护设计方法也不同,很多方法都有自己的优点和缺点,采用 MEMS 技术的小范围,高灵敏度压力传感器往往具有平膜、岛膜、梁膜等结构,在设计过载保护时,一般采用老板等方法实现,形成方法有背蚀技术、硅直接粘合技术、玻璃蚀刻技术。然而,这些结构一般有很大的局限性,是腔体尺寸较大,灵敏度进一步提高有限,降低了硅片的利用率,增加了制造工艺的复杂性,提高了生产成本。
  目前,研究的重点是小范围、高灵敏度的压力传感器,主要集中于牺牲层结构压力传感器,主要是因为牺牲层结构压力传感器的弹性隔膜非常薄,厚度可高达2米,甚至更薄。在如此薄的结构中,如果将扩散硅或多晶硅膜用作牺牲层结构压力传感器的应变电阻,其厚度相对较大,对弹性隔膜应力分布影响很大,不利于牺牲层结构压力传感器的性能优化,因此利用多晶硅纳米膜使应变抗力可以发挥牺牲层技术的优势。
  过载保护是每个传感器的考虑因素,因为测量值可能会大于使用过程中的范围,并且只有设计用于过载保护的传感器才能更好地使用,并且持续时间更长。具体来说,每个传感器的过载保护是如何设计的,过载范围是不同的,所以无论什么样的传感器必须知道其过载保护是什么,这样才能更方便使用,在未来的使用过程中不会出现因过载而燃烧的电路的情况。以上是介绍压力传感器过载后果和保护方法。


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